2023-06-14
8100L系列混合氣體配比柜適用哪些氣體?
混合氣體配比柜:該系列混合氣體配比柜專為小流量、高精度的兩元及多元混合氣體配比柜配比而設(shè)計(jì),外型結(jié)構(gòu)采用立柜式結(jié)構(gòu)方便操作與安裝,機(jī)械部分采用華信自主研發(fā)的專利產(chǎn)品“混合氣體平衡閥”、“混合氣體配比閥”整體設(shè)計(jì)占用空間小,配比精度高。其進(jìn)氣口壓力、出氣口壓力可自行調(diào)節(jié)。輸出壓力調(diào)節(jié)采用高精度調(diào)壓閥,調(diào)節(jié)方便且精度高。輸出口在柜體內(nèi)配置混合氣體緩沖罐,使混合氣體輸出壓力更穩(wěn)定,配比精度高更高。
適用氣體:
Ar+CO2/Ar+O2/Ar+He/N2+CO2/Ar+CO2+O2/Ar+He+CO2/Ar+He+O2/N2+CO2+O2等兩元或多元混合氣體配比。
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