● 8100L系列小流量混合氣體配比柜
● 輸出流量: 5-30m³/h
● 進(jìn)氣壓力: 0.6-1.2MPa
● 出氣壓力: 0.05-0.6MPa
● 適用氣體: Ar+CO?/Ar+O?/Ar+He/N?+CO?/Ar+CO?+O?/Ar+He+CO?/Ar+He+O?/N?+Co?+O?等兩元或多元混合氣體配比
● 配比范圍: 根據(jù)客戶工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)
● 配比精度: ±1.0%(根據(jù)氣體的具體組分和工藝要求設(shè)計(jì))
● 連接方式: 兩片式活接球閥
● 外形尺寸: 根據(jù)設(shè)備流量設(shè)計(jì)外形尺寸
● 比例顯示方式: 刻度盤(pán)
該系列混合氣體配比柜專(zhuān)為小流量、高精度的兩元及多元混合氣體配比而設(shè)計(jì),外型結(jié)構(gòu)采用立柜式結(jié)構(gòu)方便操作與安裝,機(jī)械部分采用華信自主研發(fā)的 專(zhuān)利產(chǎn)品“混合氣體平衡閥”、“混合氣體配比閥”整體設(shè)計(jì)占用空間小,配比精度高。其進(jìn)氣口壓力、出氣口壓力可自行調(diào)節(jié)。輸出壓力調(diào)節(jié)采用高精 度調(diào)壓閥,調(diào)節(jié)方便且精度高。輸出口在柜體內(nèi)配置混合氣體緩沖罐,使混合氣體輸出壓力更穩(wěn)定,配比精度更高。
● 8100L系列小流量混合氣體配比柜
● 輸出流量: 5-30m³/h
● 進(jìn)氣壓力: 0.6-1.2MPa
● 出氣壓力: 0.05-0.6MPa
● 適用氣體: Ar+CO?/Ar+O?/Ar+He/N?+CO?/Ar+CO?+O?/Ar+He+CO?/Ar+He+O?/N?+Co?+O?等兩元或多元混合氣體配比
● 配比范圍: 根據(jù)客戶工藝要求進(jìn)行設(shè)計(jì)
● 配比精度: ±1.0%(根據(jù)氣體的具體組分和工藝要求設(shè)計(jì))
● 連接方式: 兩片式活接球閥
● 外形尺寸: 根據(jù)設(shè)備流量設(shè)計(jì)外形尺寸
● 比例顯示方式: 刻度盤(pán)
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1、混合氣體出口(外螺紋G1/2)
2、氣體A欠壓報(bào)警燈
3、供氣指示燈
4、輸出壓力調(diào)節(jié)
5、比例調(diào)節(jié)旋鈕
6、氣體B欠壓報(bào)警燈
7、混合氣體輸出壓力表
8、電源開(kāi)關(guān)
9、氣體A輸入壓力表
10、氣本B輸入壓力表
11、控制壓力表
12、氣體A輸入端(外螺紋G1/2)
13、氣體B輸入端(外螺紋G1/2)
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